應(yīng)用與常識(shí)
| 1，什么是掩膜版？ | 掩膜版來(lái)自于英文Mask，IC行業(yè)稱Reticle，中文稱呼還有光罩，光掩膜，光刻掩膜版，掩膜板或掩模板等。 掩模版作為圖形信息的載體，主要分兩個(gè)組成部分，基板和不透光材料。通過(guò)曝光過(guò)程將圖形轉(zhuǎn)移到被曝光產(chǎn)品表面（硅片，導(dǎo)電玻璃，銅箔等材料），從而實(shí)現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移。 常見(jiàn)的光掩膜版有三種：鉻版(chrome)、干版，菲林。 鉻版的不透光層是通過(guò)濺射的方法鍍?cè)诓Ａ路胶窦s0.1um的鉻層，應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠，硬度小且易吸附灰塵，不過(guò)干版還有包膜和超微顆粒干版，其中后者可以應(yīng)用于芯片制造，菲林通常用于大面積精度較低的場(chǎng)合使用。 |
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| 2,掩膜版使用于哪些領(lǐng)域？ | 中低檔半導(dǎo)體IC制造,大功率晶體管，放電管，可控硅。 顯微鏡,光學(xué)分劃版,分度線，標(biāo)尺線，瞄準(zhǔn)線，編碼光柵。 傳感器，聲表器件，微波器件，微波天線，微機(jī)械加工/微尺寸檢測(cè)。 光波導(dǎo)與相關(guān)產(chǎn)品，平面電感，電容。 自動(dòng)化:汽車電子,起重機(jī)稱重傳感器。 消費(fèi)行業(yè):冰箱制造（制冷器）,電視機(jī)IC電路,應(yīng)變片,等。 |
| 3,制版常用的圖形格式？ | dwg/dxf,exb,cdr/ai,tdb,CIF,GDSII等矢量格式 或根據(jù)客戶設(shè)計(jì)意圖提供CAD設(shè)計(jì)服務(wù)或全套流程工藝。 |